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LMG2A直线电机

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>  特征与应用 特征：   最大行程4m x 4m 以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台 良好接地设计防止噪声干扰 Z向震动可达奈米等级以下 最大速度

LMG2A直线电机

产品详情

>  特征与应用
特征：
 
最大行程4m x 4m
以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台
良好接地设计防止噪声干扰
Z向震动可达奈米等级以下
最大速度可达5m/s
标准重现精度1um或以下
位置回馈系统分辨率最低可达50nm
 
应用：
 
半导体设备
自动化搬送
FPD设备
太阳能制造设备
PCB设备
水刀设备
钻石切割产业
AOI检测设备
工具机

 

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